Firna nîtrîdkirina plazmaya PJ-PSD
Taybetmendiyên sereke
Taybetmendî:
1) Leza nîtrîdkirinê zûtir e, çerxa nîtrîdkirinê dikare bi awayekî guncaw were kurtkirin, û dema nîtrîdkirina îyonîk dikare ji bo 1/3-2/3 ya dema nîtrîdkirina gazê were kurtkirin.
2) Şikestina qata nîtrîdkirinê piçûk e, û qata spî ya li ser rûyê nîtrîdkirina plazmayê çêdibe pir zirav e, an jî qet tune ye. Wekî din, deformasyona ji ber qata nîtrîdkirinê çêdibe piçûk e, ku ev yek bi taybetî ji bo parçeyên rast ên bi şeklên tevlihev guncan e.
3) Xerckirina enerjî û amonyakê dikare were teserûfkirin. Xerckirina enerjiya elektrîkê 1/2-1/5 ji nîtrkirina gazê ye û xerckirina amonyakê 1/5-1/20 ji nîtrkirina gazê ye.
4) Nitrîdkirina herêmî hêsan e, heya ku beşa ku nîtrîdkirinê naxwaze ronî çênebe, beşa ne-nîtrîdkirî parastina wê hêsan e, û ronî dikare bi parastina mekanîkî û plakaya hesinî were parastin.
5) Bombebarana iyonan dikare rûyê paqij bike û fîlma pasîfîzasyonê bixweber rake. Pola zengarnegir û pola germ-berxwedêr dikarin rasterast bêyî rakirina fîlma pasîfîzasyonê berê werin nîtrîdkirin.
6) Avahiya tebeqeya tevlihev, qalindahiya tebeqeya înfîltrasyonê û avahî dikare were kontrol kirin.
7) Rêzeya germahiya dermankirinê fireh e, û qalindahiyek diyarkirî ya çîna nîtrîdkirinê dikare di bin 350 C de jî were bidestxistin.
8) Şert û mercên kar baştir bûne. Dermankirina bê qirêjî û bi nîtrîdkirina plazmayê di bin zexteke pir kêm de û bi gaza dûmanê ya pir kêm tê kirin. Çavkaniya gazê nîtrojen, hîdrojen û amonyak e, û bi bingehîn tu madeyên zirardar nayên hilberandin.
9) Ew dikare li ser her cûre materyalan were sepandin, di nav de pola zengarnegir, pola berxwedêrê germê bi germahiya nîtrîdkirina bilind, pola amûran û parçeyên rasteqîn bi germahiya nîtrîdkirina nizm, lê nîtrîdkirina germahiya nizm ji bo nîtrîdkirina gazê pir dijwar e.
Cins | Herika Navînî ya Herî Zêde | Rûbera Herî Zêde ya Dermankirinê | Mezinahiya Xebatê ya Bi Bandor (mm)) | Voltaja Derketinê | Germahiya Nirxandî | Zexta Dawî | Rêjeya Zêdebûna Zextê |
PJ-PSD 25 | 50A | 25000cm2 | 640×1000 | 0~1000V | 650℃ | ≤6.7Pa | ≤0.13Pa/deqîqe |
PJ-PSD 37 | 75A | 37500cm2 | 900×1100 | 0~1000V | 650℃ | ≤6.7Pa | ≤0.13Pa/deqîqe |
PJ-PSD 50 | 100A | 50000cm2 | 1200×1200 | 0~1000V | 650℃ | ≤6.7Pa | ≤0.13Pa/deqîqe |
PJ-PSD 75 | 150A | 75000cm2 | 1500×1500 | 0~1000V | 650℃ | ≤6.7Pa | ≤0.13Pa/deqîqe |
PJ-PSD100 | 200A | 100000cm2 | 1640×1600 | 0~1000V | 650℃ | ≤6.7Pa | ≤0.13Pa/deqîqe |